下载一种半导体制造方法的技术资料

文档序号:28946814

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本发明提供一种半导体制造方法,在单个半导体外延沉积过程中在同一平面内生长不同层厚度量子阱,包括如下步骤:进行第一次层外延,以生长基本的外延层结构,基本的外延层结构包括衬底、一个牺牲层和一个桥接层,牺牲层位于衬底和桥接层之间;通过光刻和蚀刻形...
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