下载一种降低三五族半导体器件寄生电容的方法及三五族半导体器件结构的技术资料

文档序号:28946072

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一种三五族半导体器件,包括:具有源极区及漏极区的衬底、源极,设置于衬底且对应于源极区、漏极,设置于衬底且对应于漏极区、栅极,设置于源极及漏极之间、第一保护层,具有第一凹槽及第二凹槽分别设置在源极及漏极上,且覆盖部分衬底,且于栅极及源极与漏极...
该专利属于吴俊鹏;陈纪宇所有,仅供学习研究参考,未经过吴俊鹏;陈纪宇授权不得商用。

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