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本申请实施例提供了一种抽气装置、抽气方法以及多腔等离子体处理器，抽气装置包括：真空泵、摆阀、混合腔以及混合腔中的分隔部件，分隔部件将混合腔分为多个子腔体，每一个子腔体分别连接一个待处理腔体，摆阀连接混合腔和真空泵，摆阀包括阀板和摆阀主体，分...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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