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该发明涉及一种排液装置及晶圆处理设备，能够缓解排液管排液不畅的问题。其中，所述排液装置包括：排液管，用于排液；过滤器，设置至所述排液管，用于滤除流入至所述排液管内的液体中的固体杂质，所述过滤器包括至少两个滤网，且所有所述滤网层叠设置。...
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