下载以金属铝和高纯氮气为原料PVT法生长氮化铝晶体的方法的技术资料

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以金属铝和高纯氮气为原料PVT法生长氮化铝晶体的方法,涉及一种生长氮化铝晶体的方法。它是为了解决现有方法以氮化铝粉体生长氮化铝晶体导致杂质会影响晶体生长的技术问题。本方法:一、将金属铝填充到生长坩埚中,抽真空;二、升温至1800‑2000℃...
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