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本发明涉及成膜技术领域，提供了一种自支撑靶膜的制备方法及制备装置。该方法包括如下步骤：A、在真空室内布置用于制备靶膜的待成膜材料和用于承载靶膜的基衬；B、将气相的待成膜材料在基衬上沉积得到初层靶膜；C、在初层靶膜的边缘区域包覆加厚层；D、对...
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