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本发明提供在形成有凸部和凹部的基板表面形成薄膜时能够抑制空隙的产生的成膜方法及成膜装置。该成膜方法是对沿着与第一方向交叉的第二方向交替地形成有在所述第一方向上延伸的凸部和在所述第一方向上延伸的凹部的基板(10)进行成膜的成膜方法，包括：一边...
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