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本发明公开了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，掩膜版包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，框式主体具有沿各通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿异形区段分布的多个点状定位件，各点状定位件...
该专利属于合肥维信诺科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥维信诺科技有限公司授权不得商用。

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