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本发明涉及一种去胶机用晶圆传送手臂，具有手臂和手指单元；所述手臂的下方设置有可跟随手臂进行伸缩联动的辅助联动装置；所述手臂包括第一手臂和第二手臂；所述第一手臂通过F关节与晶圆传送手臂的驱动装置连接；与所述晶圆传送手臂驱动装置连接的第一手臂下...
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