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本发明提供一种抛光垫即时整修方法，包含有修整步骤、检测步骤、重建与分析步骤，利用检测对抛光垫表面形貌进行重建，并依据重建进行分析，以确保抛光垫表面经整修后能恢复其功效，并让抛光垫可有效的利用，节省使用成本。...
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