下载新型高抗动态闩锁能力的功率器件的技术资料

文档序号:28897608

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本实用新型公开了一种新型高抗动态闩锁能力的功率器件,包括多个元胞结构,每个元胞结构包括衬底,衬底顶部设有沟槽、第一阱区和第二阱区,沟槽内设有沟槽栅,第一阱区和第二阱区分别设于沟槽两侧,第一阱区和第二阱区顶部分别设有第一源区和第二源区,第一源...
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