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新型高抗动态闩锁能力的功率器件制造技术
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文档序号:28897608
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本实用新型公开了一种新型高抗动态闩锁能力的功率器件,包括多个元胞结构,每个元胞结构包括衬底,衬底顶部设有沟槽、第一阱区和第二阱区,沟槽内设有沟槽栅,第一阱区和第二阱区分别设于沟槽两侧,第一阱区和第二阱区顶部分别设有第一源区和第二源区,第一源...
该专利属于江苏宏微科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏宏微科技股份有限公司授权不得商用。
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