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四氢硼酸盐的制造装置以及四氢硼酸盐的制造方法制造方法及图纸
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下载四氢硼酸盐的制造装置以及四氢硼酸盐的制造方法的技术资料
文档序号:28879892
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本发明提供一种四氢硼酸盐的制造装置,具备:反应容器,其在内部产生氢等离子体;试样台,其设置于上述反应容器内,供硼酸盐载置;以及氢离子遮挡部件,其设置为覆盖被载置的上述硼酸盐的至少一部分。...
该专利属于新东工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新东工业株式会社授权不得商用。
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