下载修正往复型扫描仪中扫描误差的方法的技术资料

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一种修正往复型扫描仪中扫描误差的方法,包括扫描其上记录了具有特定形状的图形数据的图案纸;利用在具有特定形状的扫描图形数据中间具有直线形的图形数据来修正图形数据的倾斜误差;然后再利用已修正倾斜误差的图形数据中间具有特定形状的图形数据修正带间距...
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