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一种半导体加工用晶棒切片机制造技术
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文档序号:28876231
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本实用新型涉及半导体加工技术领域,具体为一种半导体加工用晶棒切片机,包括内部中空的底座,底座顶部等距离固接有若干组平行设置的隔板,相邻两组隔板之间形成晶棒放置通道,隔板顶部盖设有盖板;底座前侧面固接有转动电机,转动电机输出端贯穿底座前侧面并...
该专利属于许晓宇所有,仅供学习研究参考,未经过许晓宇授权不得商用。
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