下载一种氧化铝图形化方法以及LED芯片的技术资料

文档序号:28876166

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种氧化铝图形化方法以及LED芯片,形成图形化的氧化铝层时,先在外延片上设置遮挡层,然后对遮挡层进行图形化处理,得到顶横截面大于底横截面的遮挡结构。由于遮挡结构可以作为屏障将外延片对应区域隐藏起来,这样在形成氧化铝层的过程中,外延...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。