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本发明涉及一种用于制造热检测器(1)的方法，包括以下步骤：形成第一堆叠件(10)，其包括热检测器(20)、矿物牺牲层(15)和具有横向进出口(17.1)的薄封装层(16)；形成第二堆叠件(30)，其包括薄密封层(33)和吸气剂部分(34)；...
该专利属于原子能和替代能源委员会所有，仅供学习研究参考，未经过原子能和替代能源委员会授权不得商用。

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