下载直接键合有吸气剂材料的薄密封层的制造检测装置的方法的技术资料

文档序号:28876107

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本发明涉及一种用于制造热检测器(1)的方法,包括以下步骤:形成第一堆叠件(10),其包括热检测器(20)、矿物牺牲层(15)和具有横向进出口(17.1)的薄封装层(16);形成第二堆叠件(30),其包括薄密封层(33)和吸气剂部分(34);...
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