下载内置偏光片的制备方法及偏光片的技术资料

文档序号:28869827

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本发明提供内置偏光片的制备方法及偏光片,采用负性光阻搭配接触式曝光图案化制备出光阻柱,再采用钢材料作为金属掩膜板,沉积第二金属材料后,利用选择性腐蚀剂去除金属掩膜板,制备出200nm线宽的金属线栅层作为内置偏光。相较于现有技术中的纳米压印等...
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