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本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座和显微镜安装调节架，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；...
该专利属于英铂科学仪器(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英铂科学仪器(上海)有限公司授权不得商用。

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