一种真空探针台制造技术

本发明专利技术涉及半导体测试技术领域，公开了一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座和显微镜安装调节架，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；本发明专利技术提供的一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空探针台
本专利技术涉及半导体测试
，具体涉及一种真空探针台。
技术介绍
为了检测不同温度环境下的半导体器件的性能，会用到高低温真空探针台对半导体器件进行检测，通过将半导体器件放置在能够控制温度的真空腔内进行测试，但是，目前传统的高低温真空探针台存在的问题是，单层腔体结构设计，温度扩散快，保温效果不好，真空腔体的升温时间需要在1小时左右，升温过程慢，检测之前的升温等待时间较长，因此升温过程慢，直接影响到半导体器件的测试工作效率；此外，针对不同的检测环境，现有设计中没有配合实现对有毒气体进行检测的有毒气体检测装置。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种真空探针台，解决了现有探针台的真空腔存在升温速度慢，对半导体器件的测试效率低以及无法对检测环境的有毒气体进行检测的问题。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种真空探针台，包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空探针台，其特征在于：包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；/n所述真空腔体连接有与外部连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载...

【技术特征摘要】
1.一种真空探针台，其特征在于：包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；
所述真空腔体连接有与外部连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载物台内设有冷源循环通道，所述冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；
所述探针座上设有安装座，所述安装座上设有移动杆，所述移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上设有探针，所述探针座上设有波纹管，所述波纹管的端部与外探测孔处设置的延伸管密封连接，所述移动杆沿着波纹管的长度方向延伸穿过探测孔后位于载物台的上方。


2.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述探针座为三维移动座。


3.根据权利要求2所述的一种真空探针台，其特征在于：所述三维移动座包括设置在底板上的基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨；
所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆冰彬，
申请(专利权)人：英铂科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31