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本发明的基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置，涉及一种光学小球表面检测装置，目的是为了克服现有时域移相点衍射干涉测量方法对于环境振动引入的随机误差较为敏感，存在一定量的残余误差的问题，包括第一激光器、第二激光器、第一λ/2波片、...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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