温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种碳化硅外延炉反应室，包括石英管、第一密封法兰、第二密封法兰以及密封件，所述石英管外周设有水冷夹套且内部设有反应装置，所述第一密封法兰套设于所述石英管外周并与所述水冷夹套抵接，所述第二密封法兰与所述第一密封法兰相连，所述密封件...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。