温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及磁控溅射靶材加工，属于材料加工领域。一种制备氮化钛薄膜及其磁控溅射靶材的方法，通过对氮化钛粉体的脱氧、氮化处理，在保护气氛中用等离子体热喷涂工艺制备高密度、低氧含量且充分氮化的致密靶材，溅射时其钛和氮的自由原子发射比例恒定，在靶材...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。