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本发明提供了一种靶材喷砂后防氧化的方法，所述方法包括以下步骤：将靶材的非溅射面进行喷砂处理，得到喷砂靶材；将喷砂靶材进行清洗，然后采用压缩气体进行吹扫干燥，得到具有干燥喷砂面的靶材。本发明所述方法通过对靶材非溅射面进行喷砂及清洗处理，再利用...
该专利属于合肥江丰电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥江丰电子材料有限公司授权不得商用。

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