下载一种用于晶体生长过程中的挥发物处理系统的技术资料

文档序号:28853973

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本发明公开了一种用于晶体生长过程中的挥发物处理系统,包括:与晶体生长炉炉膛顶部和炉膛底部分别连通的鼓风装置和挥发物捕捉器,连接在鼓风装置和挥发物捕捉器之间的过滤器;挥发物捕捉器内设置冷凝吸附装置;晶体生长炉炉膛内的气体依次经过挥发物捕捉器冷...
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