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本申请实施例提供一种三维存储器及散热管道的形成方法,其中,所述三维存储器包括:衬底;多个堆栈结构,所述多个堆栈结构沿第一方向依次形成于所述衬底之上,其中,每一所述堆栈结构包括多个存储块,所述第一方向垂直于所述衬底所在的平面;至少一条散热管道...该专利属于长江先进存储产业创新中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江先进存储产业创新中心有限责任公司授权不得商用。
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本申请实施例提供一种三维存储器及散热管道的形成方法,其中,所述三维存储器包括:衬底;多个堆栈结构,所述多个堆栈结构沿第一方向依次形成于所述衬底之上,其中,每一所述堆栈结构包括多个存储块,所述第一方向垂直于所述衬底所在的平面;至少一条散热管道...