下载一种忆阻器组合式交叉阵列的制备方法的技术资料

文档序号:28844761

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本发明属于半导体器件制备领域,更具体地,涉及一种忆阻器组合式交叉阵列的制备方法。本发明制备方法包括以下步骤:(1)在衬底上依次沉积底部电极、阻变层和顶部电极,获得若干个单器件忆阻器;(2)对每个单器件忆阻器进行电预处理;(3)在衬底上沉积金...
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