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固体摄像组件用的硅单晶基板及硅磊晶晶圆、以及固体摄像组件制造技术
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文档序号:28844643
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技术问题:本发明提供一种能够抑制固体摄像组件的残像特性的固体摄像组件用的硅单晶基板及硅磊晶晶圆。解决手段:一种固体摄像组件用的硅单晶基板,是将通过CZ法制作的硅单晶进行切片而获得的固体摄像组件用的硅单晶基板,其特征在于,所述硅单晶基板是主掺...
该专利属于信越半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越半导体株式会社授权不得商用。
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