下载一种低导通电阻、高放大倍数NPN晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:28844585

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本发明公开了一种低导通电阻、高放大倍数NPN晶体管及其制备方法,提供P型衬底,通过N型离子注入,在P型衬底上形成BNW区;在BNW区的底部形成一定厚度的DNW区;在BNW区上端面的边缘和内部分别形成一个闭环的场区隔离;在BNW区上形成闭环的...
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