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本实用新型涉及硅片定位技术领域，涉及一种硅片整片机构。本实用新型通过侧面整片组件驱动定位板对硅片左右两侧进行定位，同时正面整片机构对硅片前后两侧进行定位，快速实现硅片的对中定位操作，操作方便，可实现硅片在线的定位，有效定位硅片位置以确保后续...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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