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本实用新型涉及硅片定位技术领域，涉及一种硅片定位整片机构。本实用新型通过驱动机构同步带动4个整片组件上的定位夹爪对硅片进行对中定位，操作方便，可实现硅片在线的快速定位，有效定位硅片位置以确保后续加工质量，同时能够满足各种型号硅片的定位需求，...
该专利属于罗博特科智能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗博特科智能科技股份有限公司授权不得商用。

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