下载一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备的技术资料

文档序号:28844246

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本发明提供了一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备,其结构包括底板、档杆、装配架、张紧机构档杆后端两侧通过螺钉固定于装配架前端表面,装配架下端焊接固定于底板上方两端,本发明在对完成覆膜的晶圆进行表面薄膜张紧压平工序时,通过小幅度的调节调节滑块的高度...
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