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本发明提供了一种半导体真空设备，包括真空箱体和与所述真空箱体盖合的盖体，所述盖体开设有用于插入温度探测器的通孔，所述盖体的内侧面固定有强化结构，且所述强化结构的设置位置对应于所述通孔的位置以封堵所述通孔，使得所述强化结构除封堵所述通孔以外的...
该专利属于上海诺硕电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海诺硕电子科技有限公司授权不得商用。

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