下载一种偏振无关高衍射效率全介质透射二维光栅的技术资料

文档序号:28834116

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本发明公开了一种偏振无关高衍射效率全介质透射二维光栅,由上至下为光栅介质层和基底构成光栅结构;顶部的二维光栅结构为矩形柱状或圆柱结构。光栅介质层第一层材料为SiO...
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