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激光束的光斑形状的校正方法技术
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文档序号:28811756
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本发明提供激光束的光斑形状的校正方法,能够抑制激光束的光斑形状的校正所需的工时,能够降低向被加工物照射的激光束的加工装置间的机械误差。激光束的光斑形状的校正方法包含如下步骤:激光束照射步骤,将激光束照射到凹面镜;拍摄步骤,通过光束分析仪对反...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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