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一种晶圆棒切割设备，包括基台、移动平台、切割装置支架、缠绕电机、金刚线轴、金刚线、线轮、液压缸支架、滑杆、液压缸、线轮支架、切削液储液桶、软管、喷嘴、固定工装。本实用新型通过缠绕电机带动金刚线轴高速旋转，使得位于同一位置的金刚线高速移动，通...
该专利属于天津众晶半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津众晶半导体材料有限公司授权不得商用。

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