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本实用新型提供一种高温臭氧氧化装置，该装置用以对硅片表面进行氧化，包括壳体、传送组件、加热组件和氧化组件，传送组件用以支撑并传送硅片，加热组件用以加热硅片，传送组件和加热组件均设置在壳体的内部；氧化组件用以对硅片表面进行氧化，氧化组件包括臭...
该专利属于苏州中世太新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中世太新能源科技有限公司授权不得商用。

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