下载具有光酸活性的光刻胶树脂及光刻胶的技术资料

文档序号:28773616

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本发明公开了具有光酸活性的光刻胶树脂及光刻胶,光刻胶树脂包括含氟树脂以及酸活性树脂;酸活性树脂至少包含一个极性侧链及一个非极性侧链;含氟树脂至少包括一个极性侧链、一个非极性侧链及一个含氟侧链;酸活性树脂包含的极性侧链与含氟树脂包含的极性侧链...
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