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本发明涉及泛半导体技术领域，提供一种半导体制程废气处理设备，包括：处理容器、第一进气管和第二进气管，处理容器限制出处理腔；第一进气管与处理腔连通并用于向处理腔内通入待处理气体；第二进气管套设于第一进气管的外侧并连接于处理容器，第二进气管设置...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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