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本发明提供了一种CMOS集成器件的制造方法,应用于半导体技术领域。在本发明提供的CMOS集成器件的制造方法中,通过采用改良后的第一CMOS器件区中的低阈值电压PMOS管的晕环离子注入光罩,在打开第一CMOS器件区中低阈值电压PMOS管所在区...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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