下载CMOS集成器件的制造方法的技术资料

文档序号:28771699

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本发明提供了一种CMOS集成器件的制造方法,应用于半导体技术领域。在本发明提供的CMOS集成器件的制造方法中,通过采用改良后的第一CMOS器件区中的低阈值电压PMOS管的晕环离子注入光罩,在打开第一CMOS器件区中低阈值电压PMOS管所在区...
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