下载一种基于二维薄膜的高灵敏度微型自供电声电转换器的技术资料

文档序号:28771528

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本发明提出的一种基于二维薄膜的高灵敏度微型自供电声电转换器,包括依次层叠的衬底、由多个电极形成的电极层和具有压电效应或类压电效应的二维薄膜;通过对所述衬底的选择性刻蚀在衬底内形成多个彼此独立且大小不一的空腔,所述电极层内各电极位于衬底上未设...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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