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一种铁磁二维材料Fe3GeTe2的CVD制备方法技术
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文档序号:28762021
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本发明涉及磁性二维材料的CVD制备技术,具体为一种铁磁二维材料Fe3GeTe2的CVD制备方法。本发明首次利用化学气相沉积法生长制得铁磁二维材料Fe3GeTe2,操作简单,制备过程中可控性较强,所得到的薄膜膜层致密且均匀,生成的二维材料呈现...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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