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本实用新型公开了全自动晶圆清洗机，包括机体，所述机体内部设有第一腔体及第二腔体，并且所述第一腔体与所述第二腔体之间设有清洗腔，所述机体的前端设有机头，所述机头内部设有物料升降机构、第一弹匣及第二弹匣，所述清洗腔设有清洗摆臂机构及可真空吸附的...
该专利属于东莞市凯迪微清洗技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市凯迪微清洗技术有限公司授权不得商用。

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