下载一种晶体生长炉的技术资料

文档序号:28754329

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本实用新型提供了一种晶体生长炉,包括炉体,所述炉体外依次设置有水冷层和隔热防震层,所述隔热防震层内填充有气凝胶颗粒,所述隔热防震层外侧设置有感应加热线圈,所述炉体的两端分别安装有上盖和下盖。通过在炉体水冷层外设置有隔热防震层,隔热防震层内的...
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