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本发明专利公开了一种探针测试系统、其操作方法及检测方法，探针测试系统包括机座、探针头冶具、探针点触冶具、压力检测装置、移动装置、控制板卡、电源板卡和工控机。探针头冶具装设在工作台表面，用于固定被测探针。探针点触冶具位于工作台上方，包括支撑件...
该专利属于上海泽丰半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海泽丰半导体科技有限公司授权不得商用。

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