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本发明多节MEMS探针用多参数检测光机电算控一体化装置属于精密测试计量、微机电系统、IC芯片测试及探针卡技术领域；该装置包括激光器、第一针孔、棱镜、成像物镜、被测件、第二针孔、图像传感器、载物台和平移台；激光器、第一针孔、棱镜、成像物镜、第...
该专利属于强一半导体（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（苏州）有限公司授权不得商用。

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