下载一种多碱阴极稳定膜的镀膜盘的技术资料

文档序号:28744840

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本发明公开了一种多碱阴极稳定膜的镀膜盘,包括盘体、座、支撑柱及挂环;盘体上设置有多个用于安装所述座的孔,这些孔在整个平面上沿着盘体的圆心自内向外呈放射形均匀分布,且孔的大小由阴极镀膜面积和座决定;挂环用于将镀膜盘固定在镀膜设备上;座的内孔车...
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