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本发明公开了光刻用稀释剂废液的纯化再生方法，属于液晶显示器薄膜晶体管和触摸屏行业废液回收利用技术领域。本发明解决的技术问题是现有光刻用稀释剂的回收利用成本高、环境污染大。本发明光刻用稀释剂废液的纯化再生方法，将稀释剂废液通过0.1um～10...
该专利属于绵阳艾萨斯电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳艾萨斯电子材料有限公司授权不得商用。

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