下载一种电驱动量子点单光子源及其制备方法的技术资料

文档序号:28743138

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本发明提供一种电驱动量子点单光子源及其制备方法,所述制备方法包括步骤:1)提供一基底;2)于所述基底表面沉积正电极,对该正电极刻蚀形成柱状阵列,于该正电极表面沉积第一绝缘膜;3)于所述第一绝缘膜表面沉积空穴注入层;4)提供硫化银量子点,将该...
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