温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种环绕栅极场效应晶体管及其制备方法，环绕栅极场效应晶体管包括：半导体衬底；位于半导体衬底上的纳米线，纳米线中具有散热孔，散热孔的延伸方向平行于纳米线的延伸方向；位于散热孔内的散热件。环绕栅极场效应晶体管产生的热量能够通过所述散热...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。