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本发明公开了一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，所述方法采用热丝气相沉积法制备掺硼金刚石薄膜时，通过在基片平台的周边均匀设置若干开口面积相等的容器，将氧化硼粉放置于容器中，在热丝加热时同时加热容器中的氧化硼粉形成高温气化，实现掺硼金刚石薄膜的制备。...
该专利属于中材人工晶体研究院（山东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中材人工晶体研究院（山东）有限公司授权不得商用。

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